第642章 不可能完成的任务分配表(2 / 2)
那么现在,魏云梦的数学模型,就是让大家感受到了困难的深度。
这似乎真的是一个不可能完成的任务。
就在所有人都感到绝望的时候。
林振又一次站了出来。
他走到魏云梦的黑板前,拿起另一支不同颜色的粉笔。
“云梦算的,没有错。”
他看着复杂的公式,眼神里非但没有畏惧,反而充满了兴奋。
“可是,她只算对了一半。”
“误差,不是只能简单叠加的。”
林振的声音充满了自信。
“既然我们知道了总的误差预算,是1微米。那么,我们就可以把这个总任务,分解下去。”
他开始在魏云梦的公式旁边,写下新的内容。
“我们可以像分蛋糕一样,把这1微米的误差,分配给六大系统。”
“比如,光学系统,你们技术最难,我给你们最大的容忍度,0.4微米。”
“工件台系统,你们是运动部件,误差源多,我给你们0.3微米。”
“掩膜版系统,0.1微米。”
“照明系统,0.1微米。”
“剩下的0.1微米,留给环境和其他不确定因素。”
林振的笔在黑板上飞快的移动着。
他不仅仅是简单地分配了一个数字。
在每个数字的后面,他又拉出了一个长长的分支,把这个系统的总误差,进一步分解到每一个具体的零件,每一个具体的工艺环节。
镜头的曲率、镜片的同轴度、导轨的直线度、电机的步进精度、温控的波动范围……
一个又一个具体的,可量化的技术指标,出现在黑板上。
原本那个笼统的,令人望而生畏的1微米,就这样,被他拆解成了一张由上百个子任务组成的,清晰无比的任务分配表。
看着黑板上堪称艺术品的任务分解图,所有人都看傻了。
他们终于明白,林振的信心从何而来。
他已经把通往山顶的每一步台阶,都清清楚楚的规划了出来。
他们要做的是沿着这条清晰的路径,一步一个脚印地,把这些台阶,一块一块的铺好。
“不可能”,就这样,变成了一张可以执行的任务表。
“怎么样?各位专家。”
林振放下粉笔,看着众人。
“现在,还有人觉得,这是不可能完成的任务吗?”
没有人回答。
回答他的,是所有人眼中,重新燃起的,熊熊的火焰。
“不过……”
在这时,光学所的老所长,却站了起来,他指着黑板上的一个分支,提出了一个非常现实的问题。
“林总师,您的分解方法非常高明。只是,按照这个指标,我们的投影物镜,在短期内,根本不可能实现。”
“我有一个不成熟的建议。我们是不是可以先退一步,采用一种更简单的曝光方式,来验证我们的材料和工艺?”
“比如,接触式曝光,把掩膜版,直接压在涂有光刻胶的硅片上,进行曝光。”