第643章 两条腿走路,先解决有无问题(2 / 2)
“三,寿命。每一次接触,都会对掩膜版造成不可逆的磨损。一块昂贵的掩膜版,可能用不了几次,就报废了。这在未来的大规模量产中,是绝对无法接受的成本。”
林振的分析,鞭辟入里,一针见血。
把接触式曝光的弊端,说得清清楚楚,明明白白。
刚才还支持这个方案的专家们,都沉默了。
他们只看到了接触式曝光的简单,却没看到它背后隐藏的陷阱。
“那……那林总师您的意思是?”
有人小心翼翼的问。
“我的意思,很简单。”
林振拿起粉笔,在黑板上,画了两条并行的线。
“两条腿走路!”
“第一条腿,是刚才大家说的,我们立刻动手,用最快的速度,造一台接触式曝光平台。它的任务,是为了给我们化工所的同志们,提供一个测试和改进光刻胶、显影液、刻蚀液的实验工具。同时,也为我们建立第一代的洁净室环境,积累经验。”
“第二条腿,”林振的目光,扫过光学所和精密机械厂的专家们,“我们同步,启动1:1投影光学系统,和配套的工件台系统的攻关!”
“我不要你们一步就做出能缩小4倍的镜头,也不要你们一步就实现纳米级的精度。”
“我们第一代实用型光刻机的目标是1:1的等比例投影,能稳定实现10微米线宽的加工能力!实验目标,是冲刺8微米!”
“这个目标,比直接上最先进的技术,要现实得多。同时,它也彻底避开了接触式曝光的所有缺陷,为我们未来的技术升级,留下了一条清晰的、可持续发展的道路。”
“我们既要脚踏实地,解决当前的‘有无’问题。也要仰望星空,为未来的‘好坏’问题,做好布局!”
林振的话,掷地有声,逻辑清晰,既照顾了现实,又指明了未来。
所有人都被他这种成熟、稳健,同时又不失魄力的总师风范,给彻底折服了。
“我同意!”
“这个方案好!两条腿走路,稳!”
“既解决了当前的问题,又为未来指明了方向,高!实在是高!”
会议室里,响起了热烈的掌声。
这一次,再没任何人提出异议。
一个小时后。
一份由801项目组全体核心专家,共同签字的《801工程第一阶段联合攻关任务书》,摆在了卢子真的办公桌上。
看着任务书上,一个个熟悉的,代表着龙国科技界最高水平的名字,和他们背后,一个个清晰、具体、又充满挑战的任务。
卢子真深知,龙国的半导体事业,这艘承载着无数人希望的巨轮,在经历了无数的徘徊和争论之后,终于在林振这位天才舵手的引领下,找到了正确的航向。
“鸣笛,启航!”
卢子真拿起桌上的红色电话,接通了总装备部的绝密专线。
他不知道的是,这艘巨轮,刚刚驶出港口,就遇到了第一个,也是最令人意想不到的暗礁。
三天后,在749院临时搭建的,所谓超净实验室里。
当化工所的研究员,轻手轻脚将第一块实验用的硅片,从密封盒里取出,准备涂抹光刻胶时。
他只是把硅片,在空气中,暴露了不到三十秒。
然后,他把硅片,放到了刚刚运来的一台高倍显微镜下。
显微镜的视野中,光洁如镜的硅片表面上,已经密密麻麻,落上了一层肉眼根本看不见的灰尘。