第660章 六大系统齐聚总装(1 / 2)
光学所的危机,以一种近乎魔幻的方式,被林振轻松化解。
当那片凝聚了光学所毕生心血和林振超时代智慧的完美非球面物镜,被小心封装进镜筒时,整个801工程,扫清了最后一个技术障碍。
光源系统、照明匀光系统、投影光学系统、工件台系统、主动隔振系统,再加上由魏云梦主导开发的,堪称“大管家”的整机控制系统。
光刻机的六大核心子系统,全部研发成功!
消息传出,整个749院,一片欢腾。
卢子真更是直接拍板,给所有参与801工程的人员,放假一天,晚上在院里的大食堂,摆庆功宴!
只是林振却拒绝了。
“还没到庆祝的时候。”
他在801工程的最后一次全体动员会上,表情严肃。
“行百里者半九十。”
“我们现在,只是把一堆零件造了出来。要把这些零件,组合成一台能正常工作的机器,才是最难的一步。”
“我宣布,801工程,从现在开始,进入总装阶段!”
749院保密级别最高的百级洁净室,再次被启用。
这一次,它不再是用来做小小的涂胶实验。
它将成为龙国第一台光刻机的产房。
一箱箱贴着“最高绝密”封条的精密部件,从各个研究所,被运送到了这里。
每一个箱子,都由荷枪实弹的士兵,全程护送。
洁净室外,拉起了三道警戒线。
除了林振和几个核心的安装人员,任何人都不得靠近。
“温度:20.001摄氏度。”
“湿度:45.02%。”
“洁净度:百级。0.5微米以上尘埃粒子数,每立方米小于3500个。”
耿欣荣穿着厚重的无尘服,像个笨拙的宇航员,一遍又一遍的,核对着环境参数。
总装,对环境的要求,苛刻到了变态的程度。
万分之一度的温差,都可能导致金属部件产生微米级的热胀冷缩,从而影响最终的装配精度。
空气中一粒小小的灰尘,如果掉进光路里,都可能成为毁掉整个芯片的罪魁祸首。
“所有参数正常!可以开始总装!”
随着耿欣荣一声令下,洁净室厚重的气密门,缓缓打开。
林振第一个走了进去。
他同样穿着一身从头到脚包裹得严严实实的白色无尘服,只露出一双眼睛。
可一双眼睛,却亮得惊人。
在他的身后,是王厂长,张怀民,还有几个从机床厂和光学所,千挑万选出来的,手最稳的八级技工。
洁净室里,六大子系统的模块,已经按照流程,摆放整齐。
它们就像一堆沉默的钢铁巨兽,等待着造物主的召唤。
“第一步,安装主动隔振平台。”
林振的声音,通过无尘服自带的通讯器,清晰的传到每个人的耳朵里。
王厂长和他手下的两个钳工,立刻上前。
他们用特制的,不会产生静电和尘埃的工具,轻手轻脚的将重达几百公斤的隔振平台,安装到了预定的位置上。
每一个螺丝的扭矩,都由林振亲自用扭力扳手,进行最后的复核。
不能太紧,也不能太松。
林振的微操感知能力,在这一刻,发挥到了极致。
他能清晰的感觉到,每一个螺丝,在拧紧的过程中,内部应力的细微变化。
他能保证,整个平台的受力,是绝对均匀的。
接下来,是工件台系统。
那块由林振亲手手搓出来的,镜面一样光滑的导轨,在无影灯的照射下,散发着迷人的光泽。
两个气浮工件台,被稳稳的安放在导轨上。
然后,是光学系统。
张怀民亲自抱着那个来之不易的投影物镜镜筒,像抱着自己的亲孙子一样,一步一步,挪到安装位。
他的手,抖得厉害。