第663章 显影，刻出微米级迷宫（1 / 2）

紫外光束亮起又马上熄灭，全程不到一秒。

主控台前的倒计时归零，整个洁净室静然一片。

“完了？”化工所的李教授瞪着布满血丝的眼睛，哑着声音问，“这才多大点功夫，是不是机器断电了？”

在老一辈科研人员的认知里，就是去照相馆洗个相片，那也得在暗室的显影液里泡上半天。

这造最先进的芯片，曝光连眨眼功夫都不到，完全违背了他们积累几十年的常识。

“没断电，曝光已经完成。”林振正色回应，抬了抬下巴指着气浮工件台，“把硅片取出来，送去显影室。”

李教授没敢叫旁人，自己套上厚重的防酸橡胶手套，抓起一把定制的绝缘镊子。

他这把老骨头平时端满杯的热水都不洒一滴，现在捏着镊子的手却止不住的发抖。

这六英寸的单晶硅片，是国家勒紧裤腰带花天价外汇换回来的无价之宝。

如果因为他取片的手法重了导致报废，他拿命都赔不起。

他小心把硅片夹进培养皿。

在众人注视下，硅片表面光洁平整，肉眼看不出半点异样。

“林总师，这上面啥也没有啊。”耿欣荣凑近看了看，小声咕哝。

魏云梦站在林振身侧，道：“光刻胶发生的是分子层面的光化学反应，你用肉眼当然看不出来。”

从光刻机到隔壁显影室只有十几步路。

李教授端着培养皿，步子迈得又重又慢。

他走得极为庄重，生怕自己带起的微风吹进灰尘，毁了林振亲手画在上面的两千个晶体管版图。

显影室的防爆玻璃实验台上，摆着几瓶刚调配好的药水。

玻璃瓶上贴着红纸标签，用毛笔工整写着“K1型显影液-绝密”。

这是林振给出的配方，化工所的人熬了好几个大夜，经过反复提纯才弄出来的心血。

李教授拿起玻璃滴管，吸了小半管显影液。

他的手又开始抖了。

他咽了口干涩的唾沫，强行压住腕子的颤动，把显影液轻柔的滴在硅片正中央。

透明的药水在硅圆片上缓缓散开。

围在旁边的十几双眼睛全瞪得老大，连大气都不敢喘，目不转睛的盯着培养皿。

一秒、两秒、十秒……

二十秒过去了，硅片表面连个气泡都没冒出来。

“怎么没反应？”材料所所长满头大汗，声音又重又急。

李教授的腿有些发软，他扶着实验台的边缘，哑着声音自责：“是不是我刚才显影液滴的量不够？还是咱们调配的K1药水浓度差了火候？这片硅不会是废了吧？”

他心疼国家的外汇，眼眶直接红了。

大家心里七上八下，冷汗直冒。

林振迈步走近，温润开口：“别急，再等等。我们用的这款光刻胶属于负性胶，显影原理是利用溶剂把没被紫外光照射到的部分溶解掉，留下发生交联反应的曝光区。化学键断裂重组，需要时间。”

他抛出的这套理论，对现在的科研人员来说就是降维打击。

大家听不懂交联反应的具体机制，可出于对林振毫无保留的信任，原本躁动恐慌的情绪逐渐被安抚下来。

又过了整整三十秒。