第969章 5nm工艺试生產（1 / 2）

秘书接受完指令，就点了点头。

看著有了指令就去办事儿的员工，马斯克心中有了一个决定，要不就把这些人全都换成机器。

毕竟都是接受指令干活……

此刻他心里第一次生出一种失控感。

毕竟火箭上输了一城，接下来即將开拓欧洲市场也被撬了墙角，现在连人形机器人赛道，对方也在悄无声息间走在了前面。

沈飞这个人，比他预想的，要可怕得多。

……

与此同时，华星晶圆厂的无尘车间里，一个即將震惊世界的工艺，正在进行当中。

李家辉正带著流片团队来到这边。

距离上次来验证5n工艺，已经过去了两个多月。

自从过年得到消息后，他除了研发新一代晶片、晶片架构就是在这几个办公室之间来回走动。

不过这两个多月，他倒是带著团队啃下了十几道工艺难题，把验证线的良品率从最初的32%，硬生生拉到了50%的临界线。

今天，是正式启动量產流片的日子。

沈飞已经在办公楼楼下等他。

“李院士，辛苦了。”沈飞伸手握手，眼神里也带著期待。

“分內的事。”李家辉笑了笑，又看了一下旁边的袁国庆，“数据我都带来了，50%的验证良品率，已经摸到大规模量產的门槛了。

今天流完片，就能知道实际量產水平到底怎么样。”

“是的，沈总，绝对能达到！”

说完两人又对视了一眼，毕竟5%10只是他们两人估测的最差成绩，结果可能要远超预期。

一行人，正在往前走。

厂区里比上次来时更热闹，新的生產线厂房正在收尾，设备正在紧急安装中。

毕竟等5n工艺彻底跑通，这条线就要全速扩產。

至於7n，必须要用国產设备顶上去，毕竟7n依旧是先进水平，不能少。

换无尘服，风淋室除尘，一套流程走完，三人站在了晶圆生產车间的玻璃外。

车间里，机器臂正在运检

“这次是首批量產流片，一共投了二十片晶圆。”袁国庆指著里面的投料口，“工艺参数都是按验证线最优方案调的。

刻蚀、沉积、光刻三道关键工序，在李教授的带领下，我们前后改了七版参数，才把良率拉上来。”

沈飞点头，目光落在车间里的设备上。

整条5n验证线，从光刻机到刻蚀机，九成以上都是国產设备。

这里面除了自己的技术突破以外，全部依靠统子。

不过，两条线还是有点少。

就像现在把这条线给改了，7n那边就会受到一定的限制。

此时在某处把妹的系统忽然打了一个喷嚏，他总感觉自己被惦记了。

“风险大吗”

“有。”李家辉和袁国庆两人几乎同时说道。

“验证线和量產线不一样，小批量测出来的良率，放大到量產往往会打折扣。

我心里预期是40%左右，能摸到45%就算超预期。”

说完之后，李家辉又单独匯报导:

“只要能稳定在40%以上，就能小批量供货。

边產边优化，慢慢往上爬。”

沈飞嗯了一声：“按你们的节奏来，不用急。

但有一点，明年星云六的上市节点不能动，晶片供应必须跟上。”

“放心。”李家辉听到这话瞬间保证道，“就算良率爬得慢，q4之前摸到60%没问题，绝对耽误不了新机备货。”